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ULVAC爱发科蒸镀用电源 PSE-150C 带外部自动控制功能

2024-11-06

金山科研平台现货促销

ULVAC爱发科蒸镀用电源 PSE-150C 带外部自动控制功能

蒸镀用电源(带外部自动控制功能) 可根据规格的选择在成膜控制器与温度调节计的组合下控制

金山科研平台现货促销规格

PSE-150C

电压	AC １00V 单相 0.8kVA（50/60Hz）允许电压变动范围＝±10％
负荷电流	Max. 80A
控制信号	外部自动控制输入 DC-0～10V/0～100％设定接收阻抗 1MΩ
电力控制方式	晶闸管交流相位控制系统（输出稳定精度：±10％・输出变动±2％）
定格	30分
外形尺寸	480mm（W）×360mm（D）×149mm（H）（不包括突起部分和配件）
质量	约24kg

选项

标准代码	PSE-15C11111	PSE-15C21111	PSE-15C31111	PSE-15C12211	PSE-15C22211	PSE-15C32211
输出位置切换功能	1点切换	2点切换	3点切换	1点切换	2点切换	3点切换
小电力切换功能	无	无	无	有	有	有
通过成膜控制器自动控制	无	无	无	有	有	有
通过温度指示调节器自动控制	无	无	无	无	无	无
输出遥控	选项	选项	选项	选项	选项	选项

标准代码

項目	代码	规格
1. 系列	PSE-	抵抗加热式真空蒸着设备用蒸发电源、面板安装系统、数字显示
2. 电源容量→ 输出容量可以选择。	8	输入：单相100V、输出：80A（max）　0～10V　0.8kVA（max）^※注１
2. 电源容量→ 输出容量可以选择。	5	输入：单相200V、输出：150A（max）　0～10V　1.5kVA（max）
3. 控制方式	C	自动定输出反馈控制（恒定电流/定电压/定电力　选择方式）
4. 输出位置切换功能→ 可根据蒸发源的电极构成进行选择。	1	无：１点
	2	２点切换
	3	３点切换
5. 小电力切换功能→可应用于有机物等小型输出调整	1	无
5. 小电力切换功能→可应用于有机物等小型输出调整	2	低输出（0～50A）/高输出（0～150A）变压器切换
6. 自动控制器功能→ 具有通过成膜控制器自动控制输出的功能。	1	无：手动調整
	2	具有膜厚仪输出自动控制功能（固定）
	3	通过膜厚仪或温度调节计，可以具有自动输出控制功能（切换）
7. 内置温度指示调节计→ 具有通过温度调节计自动进行输出控制的功能。	1	无
7. 内置温度指示调节计→ 具有通过温度调节计自动进行输出控制的功能。	2	有（ＰＩＤ控制方式）^※注２
8. 输出遥控→ 监视真空槽内的同时有效地进行输出调整	2	无
8. 输出遥控→ 监视真空槽内的同时有效地进行输出调整	2	有（ＯＮ/ＯＦＦ、ＵＰ/ＤＯＷＮ操作）

※注1可对应输出位置切换功能、膜厚仪自动功能、输出遥控（小电力功能／温度自动功能／温調計功能不能对应）※注2仅自动控制器功能 [３] 选择时适用

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