金山科研平台现货促销

ULVAC爱发科 小型真空蒸发设备 电阻加热型 VPC-1100

ULVAC爱发科 小型真空蒸发设备 电阻加热型 VPC-1100

将架台上的油扩散泵，油回转泵，皮拉尼真空计，阀门配管，电气系统，压力测量口等必要的部件紧凑组合为一体的，配有钟罩升降设备的电阻加热型高速真空蒸发设备。适用于大型基板的基础研究开发等实验用途。

金山科研平台现货促销特点

玻璃钟罩更容易看到内部，有良好的操作性。

可以在不停止主泵的情况下打开真空槽。

通过追加蒸发电源和电极，可同时蒸发或多层蒸发。

更改为EB规格，可成膜高熔点的材料。

蒸发设备带有脚轮，移动更为容易。

带有调节器，可确保设置的安全性。

金山科研平台现货促销规格

型式		VPC-1100
真空性能	极限压力	4.0×10-４Pa1.3×10-４Pa（液体氮气使用时）
	排气时间	4.0×10-３Pa/10min10-４Pa台/10min（液体氮气使用时）
真空槽	真空槽	玻璃钟罩（内径Φ390mm×高350mm)
	馈通圈	20端口(側面14/底面6)
	基板推荐尺寸・最大尺寸※1	□50mm ・ □220mm（Max）
电源系统	蒸发电极构成	3点式
	蒸发电源・数量	SEREM PSE-150C・1 式0～10V 150A（Max)
排气系统	主泵※2	油扩散泵（水冷）　1100L/sec
	液体氮气捕集器	有
	補助泵	油回转泵　200L/min、2台
	油雾捕集器	选项
操作系统	主阀	蝶阀
	補助阀	三通阀
	自动泄露阀	选项
	操作	手动
控制系统	皮拉尼真空计	GP-1G
	电离真空计	选项
设置	最大尺寸　　本体	1235mm（W）×836mm（D）×2155mm（H）
	电源	设备本体收纳
	质量　　　　本体	313kｇ
	电源	设备本体收纳

※1：最大基板尺寸是不考虑膜厚度分布时的值。※2：准备了分子泵（TMP）的规格

效用

型式		VPC-1100
所要时间	本体	200V 3相 50/60Hz 5.0kVA
	电源	100V 单相 50/60Hz 1.0kVA
接地端子		Ｄ种 （接地抵抗値 100Ω以下）
组合连接	本体　3Φ　200V	橡胶绝缘软性电缆（带R3.5-4压着端子） 4m
	电源　1Φ　100V	橡胶绝缘软性电缆（带插头） 4m
所要水量		1.5 L／min　（水温：20～25℃、水圧：200kPa （表压））
组合连接 （ソケット）		Rp1/4 （带有可触摸式配件）
推荐软管※		涤纶软管（内径9mm×外径15mm）

※冷却水配管，请客户自行准备。

尺寸图VPC-1100

蒸发电源 SEREM

真空槽内部构成基本构成