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ULVAC爱发科 金属膜用EB枪 4点切换坩埚 EGK-3M

ULVAC爱发科 金属膜用EB枪 4点切换坩埚 EGK-3M

EGK-3M型EB枪是基于ULVAC多年的技术积蓄和实际成果，为提高性能和可靠性而开发。拥有最大输入功率5kW的4个切換式坩埚。坩埚容量为2.9cc*4个、对应任意多层膜蒸镀。金山科研平台现货促销特点

采用容量2.9cc的4点切换坩埚可实现多层成膜。

由于电子束被电磁场偏转，二次电子对成膜体的影响非常小。

即使是升华材料，扫描X轴和Y轴上的束斑也可以消除点蚀现象并可以顺利蒸发。

电子束225°偏转，灯丝不会从蒸发材料暴露，因此寿命很长。

发射器组件易于拆开，更换灯丝，绝缘体等非常容易。

金山科研平台现货促销规格

加速电压		-4kV～-10kV
束电流		0.5A MAX
最大输入功率		5kW（-10kV／0.5A）
X轴偏转线圈		-0.4A～-3.5A／-18V DC MAX约2.2Ω（20℃）
灯丝		0～12V AC
		0～40A max
坩埚	数	4
	容量	2.9cc
	尺寸	21Φ×17.5Φ×10H
电子束偏向角度		225°
有效蒸发角度		90°以上
蒸发速度		0.6μm/min以上铝5kW，炉膛上方250H
冷却水量	坩埚	8L/min以上 0.7MPa（最大圧力）
	线圈	1L/min以上 0.7MPa（最大圧力）
水温		15～25℃
外形尺寸		140W×126H×207D
重量		约5kg
适用电源		HPS-510S・HPS-1000N
备注		建议使用电阻率为5kΩ·cm或更高的水。
Y轴偏转线圈（可选）		0～±1.2A／±12VDVmax约1.7Ω（20℃）
备注		建议使用电阻率为5kΩ·cm或更高的水。可以连接送丝机