金山科研平台现货促销

ULVAC爱发科 冷阴极电离真空计 SC1

ULVAC爱发科 冷阴极电离真空计 SC1

G-TRAN系列是为了集中过程控制和缩小各种设备的尺寸而开发的真空计，其理念是（1）降低成本，（2）节省空间，以及（3）减少布线。它由传感器单元和显示单元组成，可以根据您的需求进行组合。金山科研平台现货促销特征

测量头与测量电路一体化结构

模拟和设定点输出

独立的伪对数输出和设定值输出（显示单元）

采用 DIN 标准尺寸 48 x 96mm（显示单元）

金山科研平台现货促销目的

用于半导体、电子元件等各种制造设备的过程控制

用于熔炉等各种工业设备的过程控制

用于在线型、单晶圆型等具有多个处理室的各种制造设备的过程控制。

金山科研平台现货促销规格

类型		传感器单元
模型		SC1
自适应探头		C-21, 23, 24, 25
测量压力范围		1.0×10-5~ 1.0帕
测量精度		+100%、-50%（1.0×10-4至 1.0×10-1）
工作温度限制		10～40℃
测量值输出		非线性输出：DC0V～10V（HV-OFF时10V）
SETPOINT1/2 调节输出		非线性输出：DC0至10V
控制输入信号		高压开/关
输出信号		集电极开路，负逻辑
控制输出信号		放电确认/设定点 1/2
LED显示屏		功率、HV、压力保护、设定值 1/2
电源		DC24V±2V，150mA
输入/输出连接器		D-sub-15 针（M2.6 螺丝）
身体质量		430g（不含测量头）
配件		1组输入/输出连接器
		快速手册1份

* IO、模拟地、电源地不隔离。