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YAMATO雅马拓气体等离子体反应器 PR500 （流量计规格）

2024-11-06

金山科研平台现货促销

YAMATO雅马拓气体等离子体反应器 PR500 （流量计规格）

规格产品代码215007模型PR500（流量计规格）方法控制部分高频输出控制部分振荡频率控制单元整定方法反应段反应槽反应部分反应气系统反应部分控制系统反应部分管道材质内部尺寸（直径x深度）外形尺寸（宽x深x高）电源容量重量

DP型桶型

最大500W

13.56兆赫

自动调节

石英材质 φ215×305mm

2个系统（O₂/CF₄）

手动的

不锈钢、特氟龙

φ215×305mm

438×520×760毫米

AC100V 9A断路器容量及电源设备容量15A

60公斤

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YAMATO雅马拓 气体等离子体反应器 PR500 （流量计规格）

YAMATO雅马拓气体等离子体反应器 PR500 （流量计规格）