YAMATO雅马拓 内联气体等离子清洗机 ISP500L

2024-11-06

金山科研平台现货促销

YAMATO雅马拓 内联气体等离子清洗机 ISP500L

YAMATO雅马拓 内联气体等离子清洗机 ISP500L

主要规格规格模型ISP500L等离子模式电源(晶振)高频输出配套盒电极尺寸燃气系统安全装置控制方式PLC内部尺寸(宽x深x高)外形尺寸(宽x深x高)备注(尺寸)
RIE(RIE/DP自动切换可选)
高频电源
50~500W
自动的
宽250×深180mm
质量流量控制器 1系统(2系统可选)
配备各种安全装置
触控面板
344×230×45毫米
2000×2000×2000mm
腔室尺寸(内部尺寸)

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