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YAMATO雅马拓 数字质量流量控制器 SEC-N142MGM

YAMATO雅马拓 数字质量流量控制器 SEC-N142MGM

流量控制范围宽的质量流量控制器

数字质量流量控制器（SEC-N100系列）的特点产品概要

这是一款质量流量控制器，可以处理从 10 SCCM 到 1000 SLM 的宽广流量控制范围，不仅可以处理室温气体，还可以处理腐蚀性气体。

特征

- 兼容的模拟/数字通信模式，具有一系列满足客户需求的通信方式- 配备多量程、多气体功能：客户可以自行更改质量流量控制器的气体和流量范围- 配备数字校正功能实现设定点精度。金属规格也可用于腐蚀性气体（N100MGM）

使用应用程序

- 安装在各种生产设备中：半导体、液晶、LED、太阳能电池、功率半导体、光纤、涂料等- 一般工业：燃烧器气体控制、大气气体控制、混合气体发生、通风测量等- 研究开发：各种气体传感器性能评价设备、催化剂性能评价设备、生物相关评价设备、燃烧设备性能评价设备等实验室：各种实验用气体流量控制设备、采样气体流量控制设备等。

<img src="https://files.yamato-net.co.jp/uploads/product-images/658454297634cb7e0a99c2.png" width="750px>产品系列列表

	SEC-N112MGMSEC-N114MGM SEC-N115MGMSEC-N116MGMSEC-N117MGM	SEC-N122MGMSEC-N124MGMSEC-N125MGM SEC-N126MGMSEC-N127MGM	SEC-N132MGMSEC-N134MGMSEC-N135MGM SEC-N136MGMSEC-N137MGM	SEC-N142MGMSEC-N144MGMSEC-N145MGM SEC-N146MGMSEC-N147MGM	SEC-N172RSEC-N174RSEC-N175R SEC-N176RSEC-N177R
气体类型	常温气体、腐蚀性气体等
满量程流量	10~550SCCM1~10SLM	22～50SLM	100SLM	200SLM	300～1000SLM
标准配件	1/4" VCR 等效、1/4" Swagelok 等效		1/2" VCR 等效、3/8" Swagelok 等效		1/2" VCR 等效、1/2" Swagelok 等效
阀门类型	不通电时关闭：C		断电时：闭合：C / 断开：O		未通电时关闭
气体接触材料	SUS316L PTFE磁性不锈钢*以“MGR”结尾的型号包括氟橡胶。		SUS316L*型号结尾为“MGR”的产品包含氟橡胶。		SUS316/SUS304 PTFE磁性不锈钢氟橡胶
通讯电源规格	102：数字/模拟104：设备网络105：CC-Link106：Profibus107：EtherCAT