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ULVAC爱发科 升温脱离气体分析装置 TDS-M202R

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使用质谱仪对脱离气体定性分析，通过四极质谱仪分析红外镀金聚焦炉使试料升温时，试料温度与放出气体的关系。金山科研平台现货促销特点

质谱分析可以在10^-5Pa的高真空下进行测量。

红外灯加热，石英反应管是冷壁，几乎没有排出的气体。

具有从高速加热到低速加热的广泛设置范围，可实现多步加热和循环加热。

金山科研平台现货促销用途

真空油脂、O-ring等各种真空材料的评估

半导体晶圆，芯片评估

合金，陶瓷，固体材料等的微量气体分析

金山科研平台现货促销规格Temperature rangeSample sizeAtmosphereHeating methodTemperature sensorUltimate vacuumMeasurement range of mass amountSafe guardSensitivityResolution

RT ～ 1000℃

□20 × t2 (mm)

Vacuum

Paraboloidal reflected infrared tubular heating method

Thermocouple (JIS “K”)

The range of 10-5Pa (after 8-hour baking)

1 ～ 200amu

Cooling water • Earth leakage(ELB)

4A/Pa

M/△M＝1M（10％ P.H.）