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ULVAC爱发科 简易型红外线灯加热设备 SSA-E45

ULVAC爱发科 简易型红外线灯加热设备 SSA-E45

红外镀金聚焦炉和石英腔体构成的简易型设备。由红外镀金聚焦炉及包含试料架的石英腔体构成的低价格的加热系统。金山科研平台现货促销特点

石英腔室可以选择气流型或真空型（标准是气流型）

可选，可以使用气流型和真空型

金山科研平台现货促销用途

化合物半导体的合金化

Si、化合物半导体のRTA

陶瓷基板上的层压材料的烧制炉

用于玻璃和陶瓷基板的退火炉

金山科研平台现货促销规格ModelHeating MethodTemperature RangeHeating zoneSoaking zoneHeating chamberSample holderThermocoupleTemperature controller

SSA-E45	SSA-E410	SSA-P610C
Focused light cylindrical heating		Parallel light cylindrical heating
RT ～ 1400℃		RT ～ 1200℃
Φ15mm×L50mm	Φ15mm×L100mm	Φ50mm×L100mm
Φ10mm×L40mm	Φ10mm×L80mm	Φ40mm×L80mm
Quartz chamberΦ30（for gas flow）		Quartz chamberΦ98（for gas flow）
Quartz holder with boat shape		Quartz holder for 2-inch wafer
JIS R-type
TPC5000-32-1	TPC5000-62-1

※　Heating temperature changes according to the heated sample’s infrared reflectance, absorption, heat capacity, and material.