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ULVAC爱发科桌上型灯加热设备 RTP-6

2024-11-06

金山科研平台现货促销

ULVAC爱发科桌上型灯加热设备 RTP-6

80℃/s高速退火可实现低成本。

最大6英寸的灯管放大器。用于一般半导体工艺的硅化物和化合物半导体的工艺放大器。金山科研平台现货促销特点

冷墙结构不会造成再次金属污染

金山科研平台现货促销用途

可以实现Si晶圆的急速热处理

金山科研平台现货促销规格型号RTP-6温度范围样品尺寸测量环境应用

目前～1000℃

4inch～6inch 柔性尺寸

气体中、气体中、大气中

涡轮分子泵／回转泵排气组冷却水循环设备高温计控制SiC碳板

加热室

宪法

红外线金像炉

热处理室

可编程温度控制器

9区输出单元

量程变化单位

燃气管道系统

热风排风系统

框架・开关板

高温计（可选）

冷却水循环系统（选配）

真空排气系统（选配）

系统图公用事业外形尺寸重量电源要求・接地冷却水真空排气口气口热风出口

大约。 W600 x D1000 x H1700 (mm)（不包括突出部分）

大约。 300公斤

三相交流200V 30kVA，D型

自来水15L/min以上、0.3MPa以上

KF-25

输入：1/4 Swagelok 接头（或同等产品）OUT：3/8 Swagelok 接头（或同等产品）

大约。 Φ50短管

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