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ULVAC爱发科电阻加热型低成本小型真空蒸发设备 VTR-060M/ERH

2024-11-06

金山科研平台现货促销

ULVAC爱发科电阻加热型低成本小型真空蒸发设备 VTR-060M/ERH

将架台上的分子泵・辅助泵紧凑组合为一体的电阻加热型低成本小型真空蒸发设备。适用于清洁排气的基础研究开发等实验用途。

金山科研平台现货促销特点

台式,小型尺寸可以节省空间。

配备涡轮分子泵。

只需操作开关,即可实现高真空排气。

具有可扩展性,可进行多层镀膜,基板旋转。

适合低熔点金属镀膜。

金山科研平台现货促销规格

型式		VTR-060M/ERH
真空性能	极限压力	10^-４台（真空层内无负荷清洁时）1.5×10^-３Pa（选项规格）
真空性能	排气时间	4.0×10^-３Pa/20min（真空槽内无负荷清洁时）
真空槽	真空槽	圆柱形玻璃腔室（Φ236mm×Ｈ250mm)
	基板	7端口（底面）
	基板尺寸・最大尺寸	□25mm ・ □50mm（Max）
电源系统	蒸发电极构成	1点式
电源系统	蒸发电源・数量	SEREM/PSE-150C・1式0～10V 80A (MAX)
排气系统	主泵	分子泵(空冷)　60Ｌ/sec
	補助泵	油回转泵 20L/min
	油雾捕集器	OMT-050A
操作系统	主阀	选项（蝶阀）
	補助阀	选项（三通阀）
	自动泄露阀	选项（电磁阀）
	真空槽排气阀	选项（泄露口）
	操作	手动
控制系统	真空计	选项　(ISG1)
控制系统	膜厚計	选项 (CRTM-6000G)
设置	最大尺寸　　本体	428mm(W)×438mm(D)×713mm(H)
	电源	480mm(W)×435.3mm(D)×149mm(H)
	质量　　　　本体	50Kg
	电源	24Kg

效用

型式		VTR-060M/ERH
所要时间	本体	100Ｖ　单相　50/60Hz 0.6kVA
所要时间	电源	100Ｖ　单相　50/60Hz 0.8kVA
组合连接	本体　1Φ　100V	橡胶绝缘软性电缆（带插头）4m
组合连接	电源　1Φ　200V	橡胶绝缘软性电缆（带插头） 4m

※请准备2个系统的接地插座。

尺寸图VTR-060M/ERH蒸发电源 SEREM

真空槽内部构成基本构成

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