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ULVAC爱发科 紧凑型高性能高真空搬送机械手 ELEC-RZ

ULVAC爱发科 紧凑型高性能高真空搬送机械手 ELEC-RZ

ELEC-RZ是以COVOT系列出色的机能·性能为基础的对应高真空的搬送机械手，实现了紧凑化和降成本。金山科研平台现货促销特点

真空密封采用磁流体密封，支持高达10^-6Pa的高真空。

致动器的小型化使其紧凑并使其易于安装在设备上。

根据行经，转弯半径，手臂数量，有多种可选。

采用了可操作性优异的多功能显示型teching。

金山科研平台现货促销用途

半导体设备的自动晶片搬送

各种真空实验设备的基板搬送

金山科研平台现货促销规格

Pressure range		to 10-6Pa
Wafer size		200mm/300mm
Number of wafer		1 or 2
Maximum distance *		1050mm
Rotation		±210°
Z-axis stroke		50mm
Minimum rotation diameter *		944mm
Weight capacity (hand is included)		1kg
Speed	R	Max 2.5sec / full stroke
	Θ	Max 3.0sec / 180°
	Z	Max 1.5sec / 20mm
position Accuracy	R	±0.1mm
	Θ	±0.2mm
	Z	±0.2mm
Teaching pendant		Attached
Controller		Separation type

*Changes by the arm and hand.