金山科研平台现货促销

ULVAC爱发科 真空搬送机械手 COVOT-LC 半导体设备自动晶片搬送

COVOT-LC没有Z軸、是简单又合理的真空搬送机械手。金山科研平台现货促销特点根据行经，转弯半径，手臂数量，有多种可选。支持10-6Pa的高真空。金山科研平台现货促销用途半导体设备的自动晶片搬送各种真空实验设备的基板搬送金山科研平台现货促销规格

		COVOT-LC	ELEC-RZ	COVOT-6-X5
使用压力范围		to 10-5Pa	to 10-6Pa	to 10-1Pa
晶片尺寸		200mm/300mm	200mm/300mm	300mm
晶片把持片数		1 or 2	1 or 2	4
最大到达距离*1		880mm	1050mm	880mm
旋转角度		-15° to 375°	±210°	360° Endless
升降行程		-	50mm	90mm
最小旋转直径 *1		802mm	944mm	980mm
可搬重量（含机械手)		1kg	1kg	1kg
动作速度	R	Max 2.5sec / 全行程	Max 2.5sec / 全行程	Max 1.5sec / full stroke
	Θ	Max 2.5sec / 180°	Max 3.0sec / 180°	Max 2.0sec / 180°
	Z	-	Max 1.5sec / 20mm	Max 1.5sec / 20mm
重复位置精度	R	±0.2mm	±0.1mm	±0.2mm
	Θ	±0.2mm	±0.2mm	±0.2mm
	Z	-	±0.2mm	±0.2mm
示教器		选购配件	附属	附属
控制器		内置	外置	外置

*1 因安装臂和机械手而异。

手臂选择列表

	Standard arm				Standard arm	Arm for COVOT-LC	Arm forCOVOT-6
Armmodel	252	271	325	419	424	FRV	CV6
Maximumdistance(mm) *1	700	760	880	1040	1050	740	880
Minimumrotationdiameter(mm) *1	606	644	802	940	964	600	980
Numberof wafer	1or 2					1	4
Outlinedrawing*2							Arm forCOVOT-6
ELEC-RZ	○	○	○	○	○	×	×
COVOT-LC	○	○	○	×	×	○	×
COVOT-6	×	×	×	×	×	×	○

*1 Maximum distance is referential value when the robot use our hand for Φ300mm (option).*2 Hand(Pick-up) is not included our robot. Please ask us when you need it.

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