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ULVAC爱发科 金属膜用EB枪 高速蒸发型 EGL-80M
ULVAC爱发科 金属膜用EB枪 高速蒸发型 EGL-80M
EGL-80M型EB枪是基于ULVAC多年的技术积蓄和实际成果，为提高性能和可靠性而开发。拥有最大输入功率16kW的4个切换式坩埚，每个坩埚为110cc的大容量，可对应厚膜的高速蒸发。金山科研平台现货促销特点
采用大容量110cc的4点切换坩埚可实现多层成膜。
由于电子束被电磁场偏转，二次电子对成膜体的影响非常小。
即使是升华材料，扫描X轴和Y轴上的束斑也可以消除点蚀现象并可以顺利蒸发。
电子束270°偏转，灯丝不会从蒸发材料暴露，因此寿命很长。
发射器组件易于拆开，更换灯丝，绝缘体等非常容易。
坩埚位置检测机构可以作为选项安装，坩埚旋转可以自动化。
金山科研平台现货促销规格
| 加速电压 | -4kV～-10kV DC |
| 发射电流（MAX） | 1.6A（加速电压-10kV時） |
| 最大输入功率 | 16kW（-10kV、1.0A） |
| X轴偏转线圈 | 2.5～16A MAX-12V DC0.54Ω（室温20℃内） |
| Y轴偏转线圈 | 0～±2A MAX±12V DC1.2Ω×2（室温20℃内 |
| 灯丝 | 0～6V AC MAX 50A |
| 坩埚 | 容量（数） | 110cc (4个) |
| 尺寸 | 75Φ×57Φ×32H |
| 电子束偏向角度 | 270° |
| 有效蒸发角度 | 100°以上 |
| 蒸发速度 | 4μm/min以上（A| 16kW,坩埚真上250H） |
| 冷却水量 | 坩埚：20L/min以上（MAX 7kg/cm2）线圈：4L/min以上（MAX 7kg/cm2） |
| 水温 | 15～25℃ |
| 炉膛位置检测机构（可选） | 接点数：NO接点 4式容量：50mA～1A MAX 50V AC |
| 外形尺寸 | 318L×265W×168H |
| 重量 | 30kg |
| 适用电源 | HPS-1600F（高功率规格） |
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