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ULVAC爱发科金属膜用EB枪平顶结构型 EGN-406M

2024-11-06

金山科研平台现货促销

ULVAC爱发科金属膜用EB枪平顶结构型 EGN-406M

EGN系列是以提高可维护性为主轴新开发的金属蒸发用EB枪。采用平顶结构，减少了EB枪的着膜面积，实现了易维护性。金山科研平台现货促销特点

采用平顶结构，减少了电子束蒸发源上的成膜区域，使清洁变得容易

采用新的发射结构可将部件数量减少到传统产品的60％，从而简化了装配

适用于金属成膜，氧化物/化合物点光束。

作为设备制造商经验积累的成果

金山科研平台现货促销用途

电子束蒸发的蒸发源

金山科研平台现货促销规格

Model	EGN-206M	EGN-406M
Deflection angle	270°	270°
Quantity of crucibles	6	6
Crucible capacity	20cc	40cc
Cooling-water flow rate	10L/min	10L/min
Dimensions　W×D×H	267mm×343mm×150mm	267mm×343mm×150mm
Weight	28kg	28kg

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