金山科研平台现货促销

ULVAC爱发科 双阴极用双极元件 MFU-20K 溅射设备用

ULVAC爱发科 双阴极用双极元件 MFU-20K 溅射设备用

MFU-20K是通过与ULVAC制的DC电源组合，将直流输出转换为双极脉冲输出的单元。从而提高实现良率和成品率。金山科研平台现货促销特点

频率范围宽可以在10kHz～100kHz的范围内 ※1

主/从连接允许大容量最多可以进行6台设备操作

DC输出可以输入DC电源的输出可以将原样施加到阴极 ※2

金山科研平台现货促销用途

FPD用反应溅射设备

工业涂层用反应溅射设备

彩色TFT用反应溅射设备

一般溅射设备

金山科研平台现货促销规格

模型		MFU-20K
控制电源输入	额定输入电压	AC100V/AC240V
	输入电压波动范围	交流90～264V
	相位、频率	1相50/60Hz
	输入容量	400伏安
输入规格	工作电压	0～-1000V※1
	空载电压	-1200V
	工作电流	50A
输出规格	最大额定电压	1000V（有效值）※1
	空载电压	直流-1200V
	最大额定电流	50A
	振荡频率	10k～100kHz※2
	占空比	10～90％※3
冷却方式		强制风冷
尺寸（宽×深×高）		483mm×630mm×177mm（不含突出部分）
重量		37公斤
适用标准		CE/SEMI F47/RoHS

使用环境温度 5℃ ～ 40℃（无凝露）使用环境：避免阳光直射、高温、灰尘、振动、无腐蚀性气体。※1：电压超过800V时，频率受到限制。※2：频率超过60kHz时，输出受到限制。※3：占空比根据振荡频率而受到限制。