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ULVAC爱发科 异常阻止单元 脉冲同步系统用 A2K-20K

ULVAC爱发科 异常阻止单元 脉冲同步系统用 A2K-20K

A2K系列是在反应性溅射工艺中，在直流电源输出上脉冲施加正电压，中和靶材上的积蓄陷阱来防止异常放电的附加单元。能在原来的电源上简单的追加，随后实现产量和良率提高。金山科研平台现货促销特点

通过减少异常排水来提高产量可以输入更高的功率

主板损坏能够减少电弧引起的主板损坏

控制主轴的问题与RF溅射相比，可以降低主轴温度

简单的连接性可以连接到现有设备

可变的反向脉冲频率A2KH-25/50：1kHz ～ 20kHz、A2K-20K/40K：1kHz ～ 50kHz范围内可使用

脉冲同步系统可以输出多个A2K模块的同步脉冲*2*3

主从连接可实现大容量A2K-20K、40K最多可以6台并联运行

应用：脉冲同步系统

当同一个腔室内阴极反向接近相对时，或者，当多个A2K反向互干扰时。通过使用相位控制功能，可以使A2K的反向脉冲同相并防止反向干扰。*3 *4

*1：可以与弊社DC电源连接*2：使用A2KH-25,50，A2K-20K，40K不能执行脉冲同步和任务操作。*3：A2KH-25/50外部需要同步单元（PHSM / PHSS）* 4：A2K-20K / 40K需要光同步电缆（脉冲链接电缆）

金山科研平台现货促销用途

FPD用反应溅射设备

工业涂层用反应溅射设备

彩色TFT用反应溅射设备

金山科研平台现货促销规格

模型		A2KH-25	A2KH-50	A2K-20K	A2K-40K
控制电源输入	输入	交流90～110V		交流100～240V
	频率	单相50/60Hz
	力量	100伏安	120VA	400伏安
	漏电流	1mA以下
输入规格	工作电压	-100至-800V
	工作电流	0至25A	0至50A	0至50A	0至100A
	输入结构	连接器连接	端子块或连接器连接	连接器连接
输出规格	脉冲范围	5μs/10μs（内部开关切换）		1～18μs（有频率限制）
	振荡频率	・脉冲范围 5μs：　2,5,10,15,20kHz・脉冲范围 10μs：　1,2.5,5,7.5,10kHz		1 至 50KHz以 1KHz 增量变化
	反转脉冲电压	直流发电机输出电压的10％至20％。 （这取决于负载阻抗）
耐压	连续运转	-1500V直流
并联运行		没有什么		最多可控制 6 台 *5
冷却方式		强制风冷
尺寸（宽×深×高)		238×450×149毫米	430×450×149毫米	483×630×177毫米
重量		16公斤	27公斤	30公斤	45公斤
适用标准		有害物质限制指令

工作环境温度 5℃ 至 40℃（无凝结）工作环境：避免阳光直射、高温、灰尘、振动，无腐蚀性气体。*5： A2K-20K 和 A2K-40K 不能一起使用。