金山科研平台现货促销

ULVAC爱发科 小容量DC电源 溅射用电源 DC-4

ULVAC爱发科 小容量DC电源 溅射用电源 DC-4

DC-2和DC-4是2kW和4kW输出功率的溅射用DC电源。通过高控制精度重复再现性、实现高品质工艺。金山科研平台现货促销特点

高控制精度即使在10％或更低的低功率区域内，也可以实现设定值±1％的高精度输出

宽精度保证1～100%的宽功率精度保证

重量轻・节省空间轻巧，节省空间的设计，安装更方便

不需要冷却水强制空冷系统，不需要冷却水。

高可靠性作为设备制造商的经验累积成果。

金山科研平台现货促销用途

R&用于溅射设备 ・各种成膜设备的偏压电源

金山科研平台现货促销规格

Model		DC-2	DC-4
Input specification	Rated input voltage	AC208V/220V
	Input voltage fluctuation range	180 to 242VAC
	Phase, frequency	Three phase, 50/60Hz
	Input capacity	3.5kVA	6.2kVA
Output specification	Maximum rated power	2kW	4Kw
	Rated current	5A	10A
	Rated voltage	800V
	Output polarity	Negative polarity
	Abnormal discharge control	Shutoff by inverter stop or stop by resonance
Control	Control method	Constant power control (P control) / Constant current control (I control) /Constant voltage control (V control)
	Control precision	±1％ of set point (In our prescriptive resistance value.)
	Control compensation range	Constant power control, 1 to 100％ of rated power value
	Parallel operation	Nothing
	Interface	Analog/Degital,RS-232C or RS-485
Cooling method		Forced air-cooling
Dimension（W×D×H）		241mm×610mm×133mm（excluding protrusions）
Weight		15kg
Applicable standard		CE/SEMI F47/RoHS

Ambient operating temperature 5℃ ～ 40℃（no condensation）Operating environment: Avoid direct sunlight, heat, dust, vibration, and without corrosive gas.