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ULVAC爱发科大容量直流电源 DC-30-44H-E 高阻抗规格溅射用电源

2024-11-06

金山科研平台现货促销

ULVAC爱发科大容量直流电源 DC-30-44H-E 高阻抗规格溅射用电源

是30kW高阻抗规格溅射用直流电源。金山科研平台现货促销特点

通过电流弧中断回路实现超低电流弧能量。有助于提高高速生产力和产量。

1200V输出，可对应高阻抗负载。

支持EtherCAT，有助于减少设备的布线。

金山科研平台现货促销用途

FPD用溅射设备

半导体用溅射设备

触摸屏用溅射设备用

工业涂层用溅射设备

金山科研平台现货促销规格

模型		DC-30-44H-E
输入规格	输入电压	三相交流 396 至 484V
输入规格	输入容量	41.5kVA以下
输出规格	额定功率	30千瓦
	额定电流	55A
	额定电压	-1200V
	点火电压	-1500V
	异常放电控制	检测到异常放电时，停止逆变器或通过高速电弧切断电路切断
控制	控制方式	额定功率控制 (P Control )额定电流控制 (I Control )额定电压控制 (V Control )
	控制精度	P控制：小于额定输出的±0.5％或设定值的±1％，以较大者为准。I控制：小于额定输出的±1％或设定值的±2％，以较大者为准。V控制：小于额定输出的±1％或设定值的±2％，以较大者为准。
	控制保证范围	额定功率值的10～100％
	外部接口	RS-232C 或 485、EtherCAT
并联运行		最多 12 台
冷却方式		强制风冷
尺寸宽×深×高		483×650×177mm（不含突出部分）
重量		45公斤
适用标准		CE/ SEMI F47/ RoHS

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ULVAC爱发科 大容量直流电源 DC-30-44H-E 高阻抗规格溅射用电源

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