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ULVAC爱发科 大容量DC电源 溅射用直流电源 DC-20-D

ULVAC爱发科 大容量DC电源 溅射用直流电源 DC-20-D

DC-10-D和DC-20-D是用于溅射的直流电源，输出功率为10kW和20kW。它由可靠的部件和电路组成，是一种非常可靠的电源，最适合于等离子体负载，反映了爱发科多年来在电源设计中积累的技术诀窍。金山科研平台现货促销特点

丰富的高性能选项

轻巧且节省空间的设计

800V和1000V的电压输出范围

适应于等离子体的输出控制

强制空气冷却系统，无需冷却水

配备出色的ARC功能和高速ARC断路器

可最多12台设备并联运行（240kW）

符合RoHS、CE、SEMI-F47标准

金山科研平台现货促销用途

FPD溅射设备

半导体溅射设备

电子元器件溅射设备

工业涂层溅射设备

金山科研平台现货促销规格

Model		DC-10-D	DC-10-DH	DC-20-D	DC-20-DH
Input	Input voltage	AC208V
	Variation range	AC187V~229V
	Number of phase/Frequency	Three phase for 50/60Hz
	Input connection	Connector
	Input capacity	13.5kVA or less		25kVA or less
Output	Rated power	10kW		20kW
	Rated current	25A	18A	50A	40A
	Rated voltage	800V	1000V	800V	1000V
	ARC control	If ARC is detected, the inverter is stopped and LARC separates the load side
	Output connection	Connector
Control	Output control system	Constant power control/ Constant current control / Constant voltage controlcontrol (V control)
	Control accuracy *1	1 to 10% of rated power : ±5% or less of set value10-100% of rated power : The higher of ±0.5% or less of the rated output or ±1% of the set value
	Guaranteed control range *2	Constant power control: 10 to 100% of the rated power value(Option：1-100%)
	Parallel operation *3	MAX 12 unit
	Control mode system	LOCAL control / USER control / SERIAL communication control (RS232C or RS485)/EtherCAT *4
Colling		Air cooling
Dimensions		483mm（W）×630mm（D）×133mm（H）
Mass		29kg		36kg
Standard		RoHS、CE、SEMI F47

工作温度 5-40°C使用环境：室内在海拔1000米以下，无阳光直射和腐蚀性气体。*1：选项：保证额定值1-10%范围内的精度。*2：有输出电压下限和输出电流下限。也可以通过选项保证1%以上。*3：800V规格和1000V规格无法组合。*4：EtherCAT可选。