金山科研平台现货促销

ULVAC爱发科 VLH系列真空角阀 VFR-500 双动式

ULVAC爱发科 VLH系列真空角阀 VFR-500 双动式

是基于ULVAC独创的技术开发的大型摆动阀(门阀)。可对应显示器成膜设备等大型真空设备。金山科研平台现货促销特点

ULVAC独创的技术采用独特的密封机构和反向压力消除机构，不是使用机械锁定机构。极少采用会导致partical产生的滑动部件在打开/关闭或密封时几乎没有冲击（振动）

良好的维护性无需从设备或泵上拆下整个阀门即可单独拆下阀壳可以在壳体移除后，仅移除一个螺栓来移除整个阀体单元

可任意选择安装方向VFR系列安装方向360度自由

金山科研平台现货促销用途

大型显示制造设备

有机EL制造设备

其他真空设备的主阀・分阀

金山科研平台现货促销规格

Model	VFR-400	VFR-500
Common port diameter	Φ400mm	Φ500mm
Flange specification(JIS B2290 equivalency)	VF400	VF500
Open/close specification	2 positions
Open/close operation principle	Pneumatic
Open/close time	8sec	12sec
Valve plate seal	Reverse pressure capable
Open conductance	50000L/s	90000L/s
Pressure range	1.0×10-5Pa～0.12MPa(abs)
Allowable baking temperature（at stopped）	Valve body : < 120℃Cylinder : < 80℃Valve body : < 248FCylinder : < 176F
Allowable ambient temperature	10 to 80℃50 to 176F
Allowable Gass temperature	10 to 80℃50 to 176F
Compressed air pressure	0.50 to 0.70MPaG72.5 to 101.5psi5.0 to 7.0bar
Compressed air supply port	Φ8 tube connection
Maintenance cycle	100,000
Mouting angle	Free
Main parts material	Valve body : AC4CH-T6Seal plate : AC4CH-T6
Seal material	Vacuum side：FPM
Oil	Z300
Weight	98kg	155kg
Flange to flange dimension	150mm	170mm