金山科研平台现货促销

ULVAC爱发科 大型摆动阀 显示器成膜设备用 VFR-400

ULVAC爱发科 大型摆动阀 显示器成膜设备用 VFR-400

是基于ULVAC独创的技术开发的大型摆动阀(门阀)。可对应显示器成膜设备等大型真空设备。金山科研平台现货促销特点

ULVAC独创的技术采用独特的密封机构和反向压力消除机构，不是使用机械锁定机构。极少采用会导致partical产生的滑动部件在打开/关闭或密封时几乎没有冲击（振动）

良好的维护性无需从设备或泵上拆下整个阀门即可单独拆下阀壳可以在壳体移除后，仅移除一个螺栓来移除整个阀体单元

可任意选择安装方向VFR系列安装方向360度自由

金山科研平台现货促销用途

大型显示制造设备

有机EL制造设备

其他真空设备的主阀・分阀

金山科研平台现货促销规格

型号		VFR-400	VFR-500
公称口径		Φ400mm	Φ500mm
连接法兰（相当于JIS B2290）		VF400	VF500
开闭规格		2 位置
开闭动作原理		压缩空气工作式
开闭动作时间（2位置规格）		8sec	12sec
阀片密封性能		支持逆压
阀板密封最大允许压差(正压)		0.12 MPa
阀板密封最大允许压差(反压)		0.12 MPa
开关时最大允许压差(正压)		0.5 kPa
开关时最大允许压差(反压)		0.5 kPa
开放电导		50000L/s	90000L/s
使用压力范围		1.0×10-5Pa～0.12MPa(abs)
允许烘烤温度（静止时）	阀体	< 120℃ (248F)
	汽缸	< 80℃ (176F)
动作环境温度		10 to 80℃ (50 to 176F)
使用流体温度		10 to 80℃ (50 to 176F)
汽缸供应压缩空气压力		0.50 to 0.70MPaG (72.5 to 101.5psi, 5.0 to 7.0bar)
压缩空气供应口径		Φ8管接头
维护周期		100,000
安装姿态		自由
主要部件材质	阀体	AC4CH-T6
	阀片	AC4CH-T6
密封部件材质	真空侧	氟橡胶
油脂类		Z300
重量		98kg	155kg
面之间的尺寸		150mm	170mm