ULVAC爱发科 水晶振荡式成膜控制器 CRTM-6000

2024-11-06

金山科研平台现货促销

ULVAC爱发科 水晶振荡式成膜控制器 CRTM-6000

CRTM-6000G水晶振荡式成膜控制器,具有优异的膜厚及成膜速度分辨能力。尺寸紧凑,可以对应低速率控制和最多99层的多层膜连续蒸发控制。金山科研平台现货促销特点优异的膜厚和成膜速率分辨率,在成膜速率低时也可以进行控制125 ms的快速采样率可以很好地控制可实现多层膜厚控制,最多可达99层标准配有RS232C通信最多可连接2个单传感器(可切换)配备可编程数字输入/输出(各12ch)和模拟输出(3ch)金山科研平台现货促销用途蒸发时的膜厚及速率控制金山科研平台现货促销规格
Film thickness/rate resolution0.041 A (5 MHz)0.029 A (6 MHz)
Film thickness display range / display resolution/td>0.000~99.99 μm(0.000~999.9 kÅ)
Deposition rate display range / display resolution0.01~99.99 nm/s(0.1~999.9 Å/s)
Supported sensor frequency5MHz, 6MHz
Number of sensors that can be attachedSingle sensor::2(The simultaneous measurement cannot be done. It is a switch type. )Multi sensor:1
Sampling rate125ms
Number of multilayer film layers supported99 layers
Number of deposition programs99
Digital I/OInput : 12channels programmableOutput : 12channels programmable
Analog outputs3ch programmable
External dimensions W×D×H240mm x 350mm x 99mm
ULVAC爱发科 水晶振荡式成膜控制器 CRTM-6000
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