金山科研平台现货促销

ULVAC爱发科 涡轮分子泵 泵体/控制器分体式结构 UTM1000A-MS

ULVAC爱发科 涡轮分子泵 泵体/控制器分体式结构 UTM1000A-MS

涡轮分子泵，带有使用磁悬浮轴承的独立控制器。我们有抽速为300~4000 L/s 的型号阵容。控制器单元可以监控运行状态并支持各种通信标准。

金山科研平台现货促销特点

泵体和控制器分开。控制器可以监控运行状态并支持各种通信标准。

自由的安装方向。自由的安装方向使系统装置的设计更灵活。

排气速度300L/s～4000L/s的型号阵容。

分子泵转速在25-100%范围内可变。通过改变转速在腔室中实现压力调节。

高耐用性和安全性。通过了大气冲击试验、急停测试等各种安全性确认试验。

金山科研平台现货促销用途

各种设备的主真空排气系统

- 半导体制造设备- 蒸镀设备- 溅射设备- 研究开发设备- 分析设备、实验装置等

主真空泵系统，用于不产生副反应生成物的轻工艺产线的真空系统。

其他的高真空排气系统。

金山科研平台现货促销规格Table 1

Model			UTM300A-MS		UTM400A-MS		UTM800A-MS		UTM1000A-MS
Inlet port			VG100 / ICF152		VG150 / ICF203				VG200 / ICF253
Outlet port			KF25				KF40
Cooling method			Watercooling	Aircooling	Watercooling	Aircooling	Watercooling	Aircooling	Watercooling	Aircooling
Ultimate pressure *1		Pa	10-7				10-8
Pumping speed *2	N2	L/s	320		420		800		1080
	Ar	L/s	ー
	He	L/s	340		360		800		930
	H2	L/s	320		340		700		790
Compression rate	N2		1×109
	He		8×104
	H2		1×104				4×103
Max inlet pressure *3		Pa	200	1.3	200	1.3	400	1.3	400	1.3
Max outlet pressure *3		Pa	400	40	400	40	665	40	665	40
Rotation speed		rpm	45000				35000
Start-up time			5minutes or less
Mounting position			In any desired direction
Surface treatment			Nickel plating
Cooling water	Flow rate	L/min	1～3	ー	1～3	ー	1～3	ー	1～3	ー
	Pressure	MPaG	02～0.5	ー	02～0.5	ー	02～0.5	ー	02～0.5	ー
Noise		dB(A)	60
Weight		kg	14				33		32
Recommended backing pump			200L/minor more				500L/minor more
Controller	Composition		Separate type
	Input electric power		Single phase AC200 〜240V ±10%（ 50/60Hz ±2Hz）
	Max power		0.55				1.0
	Speed variation		Speed is variable between 25% and 100% of the rated speed.（ set as 0.1%）
	Communication		Contact
			Serial：RS-232C / RS-485
	Weight	kg	8