金山科研平台现货促销

ULVAC爱发科 溅射离子泵 加速器/电子显微镜用 PST-050AU

ULVAC爱发科 溅射离子泵 加速器/电子显微镜用 PST-050AU

溅射离子泵是一种用于产生超高真空的泵，广泛应用于分析仪和加速器中。ULVAC通过开发强化极、超高真空领域排气特性的新型元件和优化磁场的技术，开发出了泵。金山科研平台现货促销特点

应用于极・超真空，已通过ISO标准，极限压力10^-9Pa测试 。

稀有气体排气增强型（AU型）的排气性能是氩气的两倍。（与本公司相比）

在超高真空范围内实现高抽速。

在短时间内可以达到超高真空。

在超高真空范围内具有出色的启动特性。（超高真空范围内持续放电）

金山科研平台现货促销用途

加速器

电子显微镜

电子束曝光装置

讨厌振动的分析装置

极・超高真空环境下的使用等

金山科研平台现货促销规格

型号		PST-030CU	PST-030AU	PST-050CU	PST-050AU	PST-100CX	PST-100AX
主要对象气体		活性气体	希有气体	活性气体	希有气体	活性气体	希有气体
排气速度*(再生排气速度)		0.03m3/s(N2测定时)	0.013m3/s(Ar 测定时)	0.045m3/s(N2测定时)	0.016m3/s(Ar 测定时)	0.10m3/s(N2测定时)	0.05m3/s(Ar 测定时)
到达压力		10-9Pa
动作压力	推荐值	<8.0×10-3Pa				<5.0 x 10-3Pa
内容积		0.67 X 10-3m3		1.3x10-3m3		3.3x10-3m3
泵元件数量		CU型单元×1 式	AU sell×1式	CU sell×1	AU sell×1	CX sell×1	AX sell×1
连接法兰规格		UFC070		UFC114		UFC152
施加电压		DC+7.5kV
加热器		无设定		AC200V, 300W		AC200V, 320W
烘烤温度		250℃
质量		9.5 kg		12kg		37kg
外形尺寸	W x H x D	103×183×187 mm		153×204×241mm		155×336×340mm
使用环境	温度范围	5~40℃
	湿度范围	85%以下(无结露)
固定泵的螺栓孔尺寸		4处-M5深10mm				4处-M8深6mm
推荐的控制器		GST-07L-B