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ULVAC爱发科超真空紧凑型低温泵 CRYO-U20P 高抗热负荷能力型

2024-11-06

金山科研平台现货促销

ULVAC爱发科超真空紧凑型低温泵 CRYO-U20P 高抗热负荷能力型

ULVAC Cryo已应用于电子、光学、太阳能、核聚变、太空开发等众多领域，并积累了良好的业绩记录。金山科研平台现货促销特征

最适合大型薄膜沉积设备等生产设备。

最适合批量式大型薄膜沉积设备

金山科研平台现货促销外形尺寸（单位：mm）金山科研平台现货促销规格

抽速（20℃）	氮	升/秒	10,000
	氢		18,000
	氩气		8,400
	水		29,000
极限压力	帕（托）		10^-7(10^-9)
最大流量	氩气	Pa·L/s(托·L/s)	1.1×103^（8.7）
	氢		5.0×10²(3.7)
排气量	氩气	帕·L(托·L)	5.8×10⁸(4.4×10⁶)
	氢		4.6×10⁶(3.4×10⁴)
冷却时间（电源循环）	最小(赫兹)		180/160(50/60)
进气法兰			UVG-500
压缩机组			C30VRT
大量的		公斤	69.0

*维护间隔：16,000小时

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