金山科研平台现货促销

ULVAC爱发科 超真空紧凑型低温泵 CRYO-U16 高抗热负荷能力型

ULVAC爱发科 超真空紧凑型低温泵 CRYO-U16 高抗热负荷能力型

ULVAC Cryo已应用于电子、光学、太阳能、核聚变、太空开发等众多领域，并积累了良好的业绩记录。金山科研平台现货促销特征

非常适合中型到大型生产设备。

最适合批量式大型薄膜沉积设备。

耐热负荷的类型。

金山科研平台现货促销外形尺寸（单位：mm）金山科研平台现货促销规格

抽速（20℃）	氮	升/秒	5,000
	氢		10,000
	氩气		4,200
	水		16,000
极限压力	帕（托）		10-7(10-9)
最大流量	氩气	Pa·L/s(托·L/s)	1.4×103（11.0）
	氢		4.1×102(3.1)
排气量	氩气	帕·L(托·L)	4.3×108(3.3×106)
	氢		2.4×106(1.8×104)
冷却时间（电源循环）	最小(赫兹)		110/100(50/60)
进气法兰			UVG-400
压缩机组			C30VRT
大量的		公斤	61.0

*维护间隔：16,000小时*可选配移动底座