金山科研平台现货促销

ULVAC爱发科 多级式干式真空泵 HR600 高耐腐蚀性

ULVAC爱发科 多级式干式真空泵 HR600 高耐腐蚀性

通过在高温范围内均匀加热泵体，泵能够将CVD、蚀刻等过程中产生的升华废气物质以气态排出。金山科研平台现货促销特征

可以将在高温区域的均热CVD、蚀刻等中产生的升华废气以气态排出。UR系列可以达到比HR系列更高的温度。

配备氦气密闭电机，密封结构，安全性极高。

瞬时停电对策我们采取了1000毫秒以内的瞬时停电对策。

优异的耐腐蚀性主要部件采用特殊的表面处理，表面硬度高，耐腐蚀性优异。当腐蚀性气体排出时，减少泵内部的腐蚀。

通讯功能可以读取有关泵运行状态和警告/警报历史记录的数据。通过使用专用软件并与计算机通信，可以进行集中监控。

金山科研平台现货促销目的

化学气相沉积设备

蚀刻设备

灰化装置

酒精性肝病 (ALD)、酒精性肝炎 (ALH) 等

金山科研平台现货促销规格

模型			HR60		HR90		HR300	HR600	HR1200
使用泵		数据恢复计划	HR60		HR90		HR60	HR90	HR90
		MPB	-		-		PRC-003A	PRC-006A	PRC-012A
最大抽速	50赫兹	立方米/小时（升/分钟）	62(1030)		112(1860)		359(5,980)	653(10,900)	1,012(16,900)
	60赫兹	立方米/小时（升/分钟）	80(1333)		126(2100)		365(6,080)	701(11,700)	1,051(17,500)
极限压力		帕	五				0.67
最大入口压力（吸入压力）			大气压*1
最大排气口压力（排出压力）		帕	1~大气压
进气口（CE规格）			VG50(KF50)		VG80(KF50)		VG80(KF80)		VG100(KF100)
排气口			KF40
大量的		公斤	180		245		275	370	第420章
电力	三相	交流电压(赫兹)	200(50/60), 220(60)
当前值	稳定状态	A	7.1（200V 时）		11.2（200V 时）		7.8（200V 时）	12.9（200V 时）	15.4（200V 时）
	最大值	A	7.3（200V 时）		11.8（200V 时）		8.1（200V 时）	13.8（200V 时）	18.9（200V 时）
冷却水暂压		兆帕	0.1~0.3
冷却水进出水压差		兆帕	>0.1
冷却水流量		升/分钟	>5.0
吹扫气体	一次压力	兆帕	0.1~0.5
	二次压力	兆帕	0.05~0.1
氮气吹扫	轴	可持续发展管理	五
	加斯巴拉	可持续发展管理	0~45

*1 对于 HR300、HR600 和 HR1200，请勿在吸入压力 200Pa 或更高的情况下连续运行。