金山科研平台现货促销

ULVAC爱发科 多级式干式真空泵 配备氦气密闭电机 UR1200

ULVAC爱发科 多级式干式真空泵 配备氦气密闭电机 UR1200

通过在高温范围内均匀加热泵体，泵能够将CVD、蚀刻等过程中产生的升华废气物质以气态排出。金山科研平台现货促销特征

可以将在高温区域的均热CVD、蚀刻等中产生的升华废气以气态排出。UR系列可以达到比HR系列更高的温度。

配备氦气密闭电机，密封结构，安全性极高。

瞬时停电对策：实施1000msec以内的瞬时停电对策。

优异的耐腐蚀性主要部件采用特殊的表面处理，表面硬度高，耐腐蚀性优异。当腐蚀性气体排出时，减少泵内部的腐蚀。

通讯功能：可以读取与泵运行状态和警告/报警历史相关的数据。通过使用专用软件并与计算机通信，可以进行集中监控。

金山科研平台现货促销目的

化学气相沉积设备

蚀刻设备

灰化装置

酒精性肝病 (ALD)、酒精性肝炎 (ALH) 等

金山科研平台现货促销规格

模型		UR421-T		UR600		UR1200	UR1800	UR3601-TT
使用泵	数据恢复计划	UR421-T		UR90		UR90	UR180	UR421-T
	MBP	-		PRC-006A		PRC-012A	PRC-018A	PRC-036C-T
最大抽速		410 立方米/小时（6833 升/分钟）		653 立方米/小时（10883 升/分钟）		1012 立方米/小时（16867 升/分钟）	1701 立方米/小时（28350 升/分钟）	2700立方米/小时（45000升/分钟）
极限压力		5.0帕
最大入口压力（吸入压力）		大气压*1
最大排气口压力（排出压力）		1~大气压Pa
进气口（CE规格）		VG100		VG80(NW80)		VG100(NW100)	VG150(NW100)	VG150
排气口		VG50		西北40				西北50
大量的		415公斤		370公斤		403公斤	553公斤	720公斤
电力	三相	180-240VAC/380-440VAC（50/60Hz）		200VAC(50/60Hz) /220VAC(60Hz)				180-240VAC/380-440VAC（50/60Hz）
当前值	稳定状态	23A（200V 时）		16.4A（200V 时）		18.9A（200V 时）	29.2A（200V 时）20.5A（400V 时）	39.8 A（200V 时）20.5 A（400V 时）
	最大值	52.5A（200V 时）		17.3A（200V 时）		22.4A（200V 时）	34.9 A（200V 时）40.5 A（400V 时）	68.3 A（200V 时）40.5 A（400V 时）
冷却水暂压		0.2~0.5兆帕		0.1~0.3兆帕				0.2~0.5兆帕
冷却水进出水压差		>0.2兆帕		>0.1兆帕		>0.1兆帕	>0.1兆帕	>0.2兆帕
冷却水流量		>5.0升/分钟
吹扫气体	一次压力	0.1~0.5兆帕
	二次压力	0.05~0.1兆帕
氮气吹扫	轴	5 可持续发展管理
	加斯巴拉	0~195 SLM		0~45SLM			0~195 SLM	0~195 SLM

*1 请勿在吸入压力为 200Pa 或更高的情况下连续运行 UR600、UR1200、UR1800 和 UR3601-TT。*对于规格表中未列出的UR系列的订单，请单独联系我们。

■驾驶模式

驾驶方式		1		2		3
氮气流量	可持续发展管理	0		五		5~50*1

订购时请注明驱动方式。 （UR系列的标准设定：3）*1 UR421-T、UR3601-TT的N2流量为5～200SLM。