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MS120A 螺杆式干式真空泵 ULVAC爱发科

MS120A 螺杆式干式真空泵 ULVAC爱发科

MS系列真空泵属于螺杆式干式真空泵。这是一款耐过程干式真空泵，在传统LS 系列的基础上提高了耐腐蚀性和粉末排放性能。设计用于涉及腐蚀性气体或粉末抽真空的真空工艺。

金山科研平台现货促销特征

对转子轴、筒体等主要部件进行特殊的表面处理，具有较高的耐腐蚀性。

ULVAC 独特的螺杆式转子轴设计实现了高粉末排出性能。

可在从大气压到极限压力的整个压力范围内连续运行。

金山科研平台现货促销目的

电子零件、半导体制造设备用真空排气系统蚀刻设备、灰化设备、等离子清洗设备等

真空热处理炉、真空抽气系统烧结炉、渗碳炉等。

锂电池制造设备真空排气系统电极干燥设备、消泡设备、注液设备等

医疗及食品相关设备真空排气冷冻干燥设备、真空干燥设备等。

*MS1200A 可单独购买，并添加控制板和传感器。请联系我们。

金山科研平台现货促销规格

模型		MS120A	MS600A	MS1200A
最大抽速*1	立方米/小时	115	第560章	980
极限压力	帕	≤0.6	≤0.1
电源电压		三相，50/60Hz，AC200-240V±10%或三相，50/60Hz，AC380-480V±10%
大约功耗*2	千瓦	2.4	3.1	3.1
冷却水量	升/分钟	>4.0
吹扫气体量*1	可持续发展管理	0~50
最大水蒸气处理量*1*3	公斤/小时	1.5
噪音值*2	分贝(A)	61	62	64
进气口		KF50（卧式）/VG50（立式）	ISO-F-80	ISO-F-100
排气口		KF40
质量*4	公斤	139	第241章	264
兼容标准		CE、cTUVus
标准配件		快速说明书、电源连接器、防水线夹、信号连接器、电源连接器护罩、专用消音器1套
车身选项		电源电压：200V级或400V级密封材料：氟橡胶（FKM）或全氟橡胶（FFKM）
外部选项		底盘排气口、防震夹具、LR兼容单元（进气口、信号）、吹扫气阀

*1：典型值*2：极限压力*3：使用吹扫气体时的最大水蒸气处理量。*4: 包括消音器