TORAY东丽 氧气分析仪 MS-500 半导体/电子元件用 日本原装

2024-11-07

金山科研平台现货促销 型号:MS-500

能够同时测量多达 8 个点

显示范围广泛的浓度,从 ppm 级到 100%

最适合安装在半导体制造设备、真空设备等中。

直插式传感器(NW 16/25/40 真空法兰)

高耐用传感器采用特殊涂层,提高耐用性

MS-500规格测量原理类型显示系统测量范围重复性测量点数样气要求压力流量湿度温度其他的参比气体录音机输出变速输出报警输出热身时间方面MS-500(控制器)MS-510(转换器)传感器单元SD16NWSD25NWSD40NW重量MS-500(控制器)MS-510(转换器)传感器单元SD16NWSD25NWSD40NW外部连接力量
氧化锆浓差池类型
分体式(转换器:壁挂式;传感器:直插式)
4位数字显示(浓度显示)
0-1 / 10 / 100 / 1000ppm / 1 / 10 / 100vol%O2 10-20~10-0atm自动量程
满量程的±0.5%以内;范围 0-1% 或更大满量程的 ±1% 或 ±0.1 ppm 以内,以较大者为准;范围小于 0-1%浓度在 0-1 ppm、atm 范围内不在保修范围内。
1~8
10-3~ 200KPa(绝压)
0.5~5,000mL/min或0mL/min(自然分散状态下的测定)
露点低于环境温度
0至100°C
不得含有腐蚀性气体(氟气、氯气、硫磺气体等)、含有有机硅的气体、易燃物质(包括瓦斯)、油或湿气
气氛
仅传输输出
RS-232C
没有任何
6 分钟或更短
92毫米(宽)×44毫米(高)×120毫米(深)(不包括突出部分)
100毫米(宽)×40毫米(高)×88毫米(深)(不包括突出部分)
总长100mm(传感器⌀11×39,本体⌀40×51)
总长100mm(传感器⌀11×42,本体⌀40×48)
总长100mm(传感器⌀11×41,本体⌀40×49)
大约。 0.6公斤
大约。 0.5公斤
大约。 0.2公斤
大约。 0.2公斤
大约。 0.35公斤
任何真空法兰(NW16、25 或 40)
24VDC±10%

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