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TOKKYOKIKI特许机器台式隔振工作台SRDA SVDA SRDC SVDC SRDR
TOKKYOKIKI特许机器台式隔振工作台DAS-68 DAS-78 DAS-87 DAS-107TOKKYOKIKI特许机器台式隔振工作台EHS-68/EHS-78/EHS-87/EHS-107TOKKYOKIKI特许机器台式隔振工作台DHS-68 DHS-78 DHS-87 DHS-107
台式隔振工作台EHS/DHS/DAS/SRD/SVD
半导体工业和其他超精密加工领域的制造、检验和测量的精度正在提高到纳米和埃。这是一系列准确捕捉这个时代需求并提供超细微振动的隔离空间的OS浮动办公桌。由于半导体和液晶基板的直径和基板尺寸变大，检查设备的尺寸和重量不断增加，我们拥有丰富的产品阵容。该系统设计简单，与生产检测线相匹配，多种选项可让您完美地配置系统。
EHS/DHS 规范
台式隔振工作台EHS
针对超精密检查/测量设备的高性能隔振台
EHS-68（带下层架）
模型 EHS-68 EHS-78 EHS-87 EHS-107 隔振台外形尺寸（W×D×Hmm） 600×800×750 700×800×750 800×700×750 1,000×700×750 产品重量（公斤） 170 190 190 220 允许装载重量（kg） 120 隔振方法 空气弹簧和摆动球支撑方法 (PAT .P/USP) 固有频率（赫兹） 垂直方向 1.6 至 2.2 水平方向 1.2 至 1.8 调平 采用机械阀自动调平方式：供给压力0.4Mpa 浮子部分 SUS304抛光处理 选项 工作罩、抗震固定硬件、下层搁板 其他的 可在洁净室内使用（具有中央排风系统和防静电接地功能）符合RoHS指令
台式隔振工作台DHS
DHS系列是EHS系列中包含工作罩的型号。您可以不用担心接触浮动部分而工作。
DHS-68（带下层架）
模型 国土安全局-68 国土安全部78 DHS-87 DHS-107 隔振台外形尺寸（W×D×Hmm） 650×850×750 750×850×750 850×750×750 1,050×750×750 产品重量（公斤） 175 195 195 225 允许装载重量（kg） 120 隔振方法 空气弹簧和摆动球支撑方法 (PAT .P/USP) 固有频率（赫兹） 垂直方向 1.6 至 2.2 水平方向 1.2 至 1.8 调平 采用机械阀自动调平方式：供给压力0.4Mpa 浮子部分 SUS304抛光处理 选项 抗震固定支架、下层架 其他的 可在洁净室内使用（具有中央排风系统和防静电接地功能）符合RoHS指令
EHS/DHS 特点
振动传递特性 尽管特征值较低，但稳定的振动传递特性可抑制高达 100Hz 的模式的产生。
水平隔振机构采用“SBM机构”（PAT.P/USP）。在水平方向上实现低特征值。现在，无论安装设备的重量如何，都可以保持水平固有频率几乎恒定。
我们已将 Swing Ball (SBM) 机构商业化，这是一种通过主动隔振培育出的独特隔振技术，已转化为新型紧凑型空气弹簧。通过采用这种 SBM 机构，我们能够抑制传统空气弹簧难以实现的滚动模式。此外，结合优化设计的底座，可以在较宽的频率范围内可靠地隔离振动，从而最大限度地提高所安装设备的性能。
新型空气弹簧
DAS/SRD/SVD 规格
台式隔振工作台 DAS
支持光学显微镜/粗糙度计等大负载的装载。
DAS-68（带下层架）
模型 DAS-68 DAS-78 DAS-87 DAS-107 隔振台外形尺寸（W×D×Hmm） 650×850×750 750×850×750 850×750×750 1,050×750×750 产品重量（公斤） 180 200 200 230 允许装载重量（kg） 200 隔振方法 空气弹簧 固有频率（赫兹） 垂直和水平2.0至3.0 调平 采用机械阀自动调平方式：供给压力0.4Mpa 浮子部分 SUS304抛光处理 选项 抗震固定支架、下层架 其他的 可在洁净室内使用（具有中央排风系统和防静电接地功能）符合RoHS指令
台式隔振工作台SRD/SVD
测量显微镜/粗糙度仪等整齐安装
SVDA（带翼、侧桌（ED）、显示器支架、鼠标/键盘支架）
模型 SRDA SVDA SRDC SVDC SRDR 隔振台外形尺寸（W×D×Hmm） 590×720×715 770×720×715 590×720×715 770×720×715 590×720×715 产品重量（公斤） 70 105 70 105 70 允许装载重量（kg） 120 200 120 200 45 隔振方法 空气弹簧 特殊橡胶弹簧垫 固有频率（赫兹） 垂直和水平2.0至3.0 垂直和水平8.0至12.0 调平 采用机械阀自动调平方式：供给压力0.4Mpa 手泵补水手动调节 特殊橡胶弹簧垫 浮子部分 SPCC（三聚氰胺树脂涂层） 选项 侧翼、侧桌（ED）、显示器支架、鼠标/键盘支架
关于台式隔振台的使用：如果安装设备的重心超过短支撑尺寸高度的1/2，请联系我们。
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