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特征

优异的隔振特性，无放大范围

对重心变化的快速响应

使用外围设备保持位置

可承载100t级超大载荷

可以支持 10 个或更多点的多点

气动和压电主动隔振器的隔振和阻尼性能论文讨论 (PDF)　目的

3 种类型以满足设备要求

注重隔振性能的装置・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ L型

需要足够的隔振和阻尼性能的设备・・・・・・・・・・・・・・・M型

注重减振性能的装置・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ H型

振动传递特性

减振性能

规格

模型		α-100			α-140			α-200
设计允许负载1单位(kgf)		180			400			750
外部尺寸（宽 x 深毫米）		234×180			268×253			328×313
单元高度（宽×深mm）	L	238			238			238
	中号	168			168			168
	H	168			168			168
单位质量（kg/1单位）		L	中号	H	L	中号	H	L	中号	H
		10.1	8.6	8.9	17.3	15.2	15.7	21.4	18.4	19.4

模型		α-201	α-202	α-203
设计允许负载1单位(kgf)		第740章	1300	1800
外部尺寸（宽 x 深毫米）		260×260	260×260	260×260
单元高度（宽×深mm）	L	第259章	-	-
	中号	204	第259章	314
	H	204	第259章	314
单位质量（kg/1单位）		α3W-201M	α3W-202M	α3W-203M
		16	21	26

模型		α-331	α-332	α-333
设计允许负载1单位(kgf)		2000年	3900	5800
外部尺寸（宽 x 深毫米）		400×400	400×400	400×400
单元高度（宽×深mm）	L	298	403	508
	中号	262	第333章	404
	H	262	第333章	404
单位质量（kg/1单位）		α3W-331M	α3W-332M	α3W-333M
		72	88	100