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ELIONIX 金山科研平台 超细压痕硬度计“ENT-5” 电镀、硬质涂层等薄膜材料

产品特点了解所有材料的硬度

・电镀、硬质涂层等薄膜材料・树脂材料、薄膜类材料・DLC等超薄膜・功能性树脂膜、表面改性膜・微粒子、粉末材料

ENT-5的特点

・第五代“ENT”・通过抑制测量环境中的干扰实现高数据再现性・由于完全在日本制造，因此友好的 GUI 成为可能・支持从 0.5 μN 到 2,000 mN 的宽范围测试负载

纳米压痕测试

・可以获得薄膜、极端表面和微小区域的硬度和弹性模量等机械性能・通过分析载荷和位移曲线确定特性，因此无需观察压痕・ISO 14577-1/JIS Z 2255合规 合规

数据再现性和可维护性

1. 温度控制机构- 抑制样品和测试设备的热膨胀- 挡风玻璃内部温度控制在±0.1°C- 测量部件采用低热膨胀材料（Novinite）- 阻挡外部气流的影响2、高精度定位载物台- 采用自主开发的电子束光刻高精度载物台技术- 可以以 0.1μm 的步长进行定位- 以 2,000 倍观察放大倍数测量任何位置（标准物镜 20 倍，与数码变焦一起使用时）3. 振动机构：标配具有抗振楔形规格的高精度工作台和主动隔振工作台4软件：多年积累的压头修正、温度漂移修正、日常检查提醒等辅助功能。性经验。

负载/负载分辨率	高力单元：5 μN 至 2,000 mN / 5 nN低力单元：0.5 μN 至 10 mN / 0.03 nN
负载加载方式	电磁力型
测量范围	±50μm
测量分辨率	下午 0.3 点
测量方法	光学的
样本量（典型值）	φ50xt3.5mm
可测量面积	X 50，Y 40 毫米
最小移动步数	0.1微米