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YAMATO雅马拓气体等离子灰化器 PB600

2024-11-06

金山科研平台现货促销

YAMATO雅马拓气体等离子灰化器 PB600

规格产品代码215050模型PB600等离子模式电极结构高频输出振荡频率功率放大控制/显示调音方法处理时间设置反应室反应室尺寸反应部分温度反应气体吹扫气体流量计真空计真空泵急停开关进气口吹扫气体入口真空排气口内部尺寸（直径x深度）外形尺寸（宽x深x高）备注（尺寸）电源容量重量备注（重量）

DP（直接等离子体）

对置电极法（分体法）

功率在 60 至 600W 之间连续变化，但常规使用时最高可达 500W

13.56MHz晶振

场效应管法

液晶触摸屏

自动手动

1秒至1小时59分59秒

由石英制成

直径 250 x 长度 350 (400) 毫米

数字显示

氧气、_CF4_等

氮气_/干燥空气

2系统质量流量控制器

电容压力计（0-1333Pa）

旋转真空泵（带过载保护机构）约300L/min

前推式

1 件（1/4" SUS Swagelok）

1 件（1SUS NW25 法兰）

φ250×350mm

500×700×720毫米

*不包括电源和真空泵部件

三相200V 20A

90公斤

*不包括电源和真空泵部件

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YAMATO雅马拓 气体等离子灰化器 PB600

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