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YAMATO雅马拓气体等离子灰化器 PB1000SN

2024-11-06

金山科研平台现货促销

YAMATO雅马拓气体等离子灰化器 PB1000SN

规格产品代码215051模型PB1000SN等离子模式电极构造高频输出振荡频率功率放大控制/显示同调方式处理时间设置反应室反应室尺寸反应部分温度反应气体吹扫气体流量计真空计真空泵急停开关进气口吹扫气体入口真空排气口内部尺寸（直径x深度）外形尺寸（宽x深x高）备注（尺寸）电源容量重量备注（重量）

DP（直接等离子体）

対向电极方式（分割方式）

100 至 1,000W 连续

13.56MHz晶振

FET方式

液晶触摸屏

自动手动

1秒至1小时59分59秒

由石英制成

直径 300 (350-450) x 长度 500 (550) 毫米　

数字显示

O₂、CF₄他

氮气_/干燥空气

质量流量控制器 2 系统数字显示 (CF₄0-300sccm) (O₂0-1,000sccm)

电容压力计（0-1333Pa）

旋转真空泵约1,000L~/min

前推式

2 件（1/4" SUS Swagelok）

1 件（1/4" SUS Swagelok）

1 件（1SUS NW40 法兰）

φ300×500mm

640×850×1695毫米

*不包括电源和真空泵部件

三相　200V 30A

250公斤

*不包括电源和真空泵部件

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YAMATO雅马拓 气体等离子灰化器 PB1000SN

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