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YAMATO雅马拓气体等离子干洗机 PDC610

2024-11-06

金山科研平台现货促销

YAMATO雅马拓气体等离子干洗机 PDC610

规格产品代码328216模型PDC610等离子模式电极结构高频输出振荡频率控制/显示（仪器）腔体材质反应气体吹扫气体真空泵内部尺寸（宽x深x高）外形尺寸（宽x深x高）备注（尺寸）电源容量

RIE/DP（模式固定）

3层独立平行平板（架子固定）

最大600W

13.56兆赫

音序器触摸屏

A5052

2个系统（氩气、氧气）

氮气或干燥空气

旋转真空泵（约345L/min），标准装备

350×270×300毫米

600×722×700毫米

电源线采用PSE标准线。获得海外标准FCC。

三相AC200 50/60HzV 15A断路器容量及动力设备容量15A。不含电源插头。

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YAMATO雅马拓 气体等离子干洗机 PDC610

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