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ULVAC爱发科小型高频溅射设备 RFS-201 绝缘/金属/半导体材料用

2024-11-06

金山科研平台现货促销

ULVAC爱发科小型高频溅射设备 RFS-201 绝缘/金属/半导体材料用

配有RF电源的小型高频溅射设备。可以实现金属，半导体，绝缘体成膜，因此非常适用于基础研究开发等实验用途。

金山科研平台现货促销特点

绝缘，金属，半导体材料的溅射设备。

主泵使用油扩散泵。

可以在Φ80mm×1阴极上单层成膜。

通过传统溅射，溅射速度可达到20nm/min（SiO2）

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规格

型式		RFS-201
真空性能	极限压力	6.6×10^-４Pa
真空性能	排气时间	6.6×10^-３Pa/5min
真空槽	真空槽	金属腔（200mm(W)×250mm(D)×150mm(H))
	阴极	Φ80mm、1元
	基板推荐尺寸	Φ80mm×t1-5mm
	有効成膜范围	50mm
	成膜速度	SiO2SiO2, 成膜20nm/min以上
	膜厚分布	SiO2SiO2, 成膜50mm范围±8％以内
	基板加热温度	Max 350℃
	基板／电极间距	30～50mm(可変）
排气系统	主泵	油扩散泵（水冷） 150L/sec
	液体氮气捕集器	选项
	補助泵	油回转泵 100L/min
	油雾捕集器	油雾捕集器 OMT-100A
操作系统	主阀	插板阀
	補助阀	三通阀
	自动泄露阀	选项
	操作	手动
控制系统	RF电源	Max 300W (0～300Ｗ可変）
	皮拉尼真空计	G-TRAN
	电离真空计	选项
设置	最大尺寸	764mm（W）×723mm（D）×1648mm（H）
设置	质量	260kg

效用

型式	RFS-201
所要电气量	200V 单相 50/60Hz 2.8kVA
接地端子	A种（接地抵抗値 10Ω以下）
所要水量	5.0 L／min　(水温:25℃以下、水圧:200～300kPa（表压）)
组合连接（电源）	橡胶绝缘软电缆（带R2-5压接端子）　4m
组合连接（接地）	接地电缆（铜板）　4m
组合连接（水）	涤纶软管（内径9mm×外径15mm）、4m（2本）

尺寸图

真空槽内部构成基本构成

[1]	罩子
[2]	阴极
[3]	阳极
[4]	快门
[5]	电流导入端子
[6]	热电偶导入端子
[7]	真空计端口
[8]	支架
[9]	背板
[10]	靶材
[11]	准备端口
[12]	正门

支架图

[標準]

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