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ULVAC爱发科小型真空蒸发设备电阻加热型 VPC-260F

2024-11-06

金山科研平台现货促销

ULVAC爱发科小型真空蒸发设备电阻加热型 VPC-260F

将管架上的主泵，辅助泵，阀门配管，电气系统，压力测量口等等必要的部件紧凑组合为一体的电阻加热型低成本小型真空蒸发设备。适用于小基板尺寸的基础研究开发等实验用途。

金山科研平台现货促销特点

玻璃钟罩更容易看到内部，有良好的操作性。

可以在不停止主泵的情况下打开真空槽。

通过追加蒸发电源和电极，可同时蒸发或多层蒸发。

蒸发设备带有脚轮，移动更为容易。

金山科研平台现货促销规格

型式		VPC-260F
真空性能	极限压力	1.3×10^-３Pa6.6×10^-４Pa（液体氮气使用时）
真空性能	排气时间	4.0×10^-３Pa/20min1.3×10^-３Pa/20min（液体氮气使用时）
真空槽	真空槽	玻璃钟罩（内径Φ300mm×高300mm)
	馈通圈	8端口(側面8)
	基板推荐尺寸・最大尺寸^※1	□50mm ・ □140mm（Max）
电源系统	蒸发电极构成	1点式
电源系统	蒸发电源・数量	SEREM　PSE-150C　1 式0～10V 150A（Max)
排气系统	主泵	油扩散泵（空冷）　200L/sec
	液体氮气捕集器	有
	補助泵	油回转泵　100L/min
	油雾捕集器	选项
操作系统	主阀	插板阀
	補助阀	三通阀
	自动泄露阀	选项
	操作	手动
控制系统	皮拉尼真空计	选项
控制系统	电离真空计	选项
设置	最大尺寸　　本体	530mm（W）×550mm（D）×1135mm（H）
	电源	480mm（W）×435.3mm（D）×149mm（H）
	质量　　　　本体	75kｇ
	电源	40kg

※1：最大基板尺寸是不考虑膜厚度分布时的值。

效用

型式		VPC-250F
所要时间	本体	100V 单相 50/60Hz 1.35kVA
所要时间	电源	200V 单相 50/60Hz 1.5kVA
接地端子		Ｄ种（接地抵抗値 100Ω以下）
组合连接	本体　1Φ　100V	橡胶绝缘软性电缆（带插头） 2m
组合连接	电源　1Φ　200V	橡胶绝缘软性电缆（带R2.0-5接压端子） 2m

尺寸图VPC-260F

蒸发电源 SEREM

真空槽内部构成基本构成

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