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ULVAC爱发科小型真空蒸发设备电阻加热型 VPC-061A

2024-11-06

金山科研平台现货促销

ULVAC爱发科小型真空蒸发设备电阻加热型 VPC-061A

将管架上的主泵・辅助泵・阀门配管・电气系统・圧力测量口等必要部件紧凑组合为一体的电阻加热型低成本小型真空蒸发设备。适用于小基板尺寸的基础研究开发等实验用途。

金山科研平台现货促销特点

桌面紧凑型，可节省安装空间。

玻璃钟罩更容易看到内部，有良好的操作性。

可以在不停止主泵的情况下打开真空槽。

停电时会自动开启泄露阀，以保护主泵。

金山科研平台现货促销规格

型式		VPC-061A
真空性能	极限压力	1.3×10^-３Pa6.6×10^-４Pa（液体氮气使用时）
真空性能	排气时间	4.0×10^-３Pa/20min1.3×10^-３Pa/20min（液体氮气使用时）
真空槽	真空槽	玻璃钟罩（内径Φ150mm×高200mm)
	馈通圈	3端口(底面3)
	基板推荐尺寸・最大尺寸※1	□25mm ・ □50mm（Max）
电源系统	蒸发电极构成	1点式
电源系统	蒸发电源・数量	SEREM PSE-150C・1 式0～10V 150A（Max)
排气系统	主泵	油扩散泵（空冷）　50L/sec
	液体氮气捕集器	有
	補助泵	油回转泵 20L/min
	油雾捕集器	选项
操作系统	主阀	蝶阀
	補助阀	三通阀e
	自动泄露阀	有
	操作	手动
控制系统	皮拉尼真空计	选项
控制系统	电离真空计	选项
设置	最大尺寸　本体	434mm(W)×422mm(D)×673mm(H)
	电源	480mm(W)×435.3mm(D)×149mm(H)
	质量　　　　本体	32kg
	电源	40kg

※1：最大基板尺寸是不考虑膜厚度分布时的值。

效用

型式		VPC-061
所要时间	本体	100V 单相 50/60Hz 0.63kVA
所要时间	电源	200V 单相 50/60Hz 1.5kVA
接地端子		D种（接地抵抗値 100Ω以下）
组合连接	本体　1Φ　100V	橡胶绝缘软性电缆（带插头） 2m
组合连接	电源　1Φ　200V	橡胶绝缘软性电缆（带R2.0-5接压端子） 2m

尺寸图

蒸发电源 SEREM

真空槽内部构成基本构成

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