ULVAC爱发科 UNECS-1M 小型分光椭偏仪 薄膜膜厚/折射率测量用

2024-11-06

金山科研平台现货促销

ULVAC爱发科 UNECS-1M 小型分光椭偏仪 薄膜膜厚/折射率测量用

ULVAC爱发科 UNECS-1M 小型分光椭偏仪 薄膜膜厚/折射率测量用

UNECS系列是可以高速、高精度测量薄膜膜厚和折射率的分光椭偏仪。采用独特的测量方式,实现了高速测量和机体的小型化。我们的产品阵容包括独特的便携式,自动式和对应真空环境的设备内置式类型。UNECS-1M的传感器单元轻量、紧凑,能够简单嵌入成膜设备等。除了通常的大气压类型以外,也有对应真空环境的类型。金山科研平台现货促销特点

高速測定:独特的快照方法可实现高达20 ms的高速测量。

适用于可见光谱:波长范围可选标准类型(530nm至750nm)和可见光谱类型(380nm至760nm)。

紧凑型传感器单元:光发射和接收的传感器仅由没有旋转机构的光学部件组成,因此非常轻且紧凑,并且不需要定期维护。

丰富的产品阵容:产品阵容应用广泛,包括如独特的便携类型,手动/自动平台类型,大型基板类型,以及支持大气/真空环境的内置类型。

金山科研平台现货促销用途

透明或半透明薄膜(氧化膜,氮化膜,抗蚀剂,ITO等)的膜厚,折射率,消光系数的测量

金山科研平台现货促销规格
波长范围530~750nm、380~760nm(选择)
点径Φ1mm、Φ0.3mm(选择)
入射角度70o固定
膜厚再现性1σ = 0.1nm
膜厚范围1nm~2μm
测量时间受光:20ms ~ 3000ms 演算:300ms
设置环境大气、真空(选择)
机器构成测量头、控制器BOX、光源单元、使用说明书(CD)、解析软件(CD)*控制PC不含在标准中

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