金山科研平台现货促销

ULVAC爱发科 多级式干式真空泵 LR180 配备氦气密闭电机

ULVAC爱发科 多级式干式真空泵 LR180 配备氦气密闭电机

通过在低温范围内均匀加热泵体，该泵不仅适用于 PVD 工艺，而且适用于对装载室和卸载室进行排气，其中缩短排气时间对于提高吞吐量尤为重要。金山科研平台现货促销特征

低温范围内均匀加热（LR系列）除了PVD工艺外，它特别适用于装载/卸载室的排气，其中缩短排气时间对于提高吞吐量非常重要。

配备氦气密闭电机，密封结构，安全性极高。

瞬时停电对策我们采取了1000毫秒以内的瞬时停电对策。

优异的耐腐蚀性主要部件采用特殊的表面处理，表面硬度高，耐腐蚀性优异。当腐蚀性气体排出时，减少泵内部的腐蚀。

通讯功能可以读取有关泵运行状态和警告/警报历史记录的数据。通过使用专用软件并与计算机通信，可以进行集中监控。

金山科研平台现货促销目的

薄膜沉积设备（溅射设备/蒸发设备等）

缩短装卸间排气时间

作为辅助排气泵（涡轮分子泵和机械增压泵的辅助排气）

金山科研平台现货促销规格

模型			LR60	LR90	LR180	LR421	LR421-T
最大抽速	50赫兹	立方米/小时（升/分钟）	62 (1030)	112 (1860)	183 (3100)	440 (7333)
	60赫兹	立方米/小时（升/分钟）	80 (1333)	126 (2100)	237 (3950)	440 (7333)
极限压力			5.0帕
最大入口压力（吸入压力）			气压
最大排气口压力（排出压力）			1Pa～大气压
进气口（CE规格）			VG50(KF50)	VG80(KF50)		VG100
排气口			KF40			VG50
大量的		公斤	180	245	第335章	第415章
电力*1	三相	交流电压（赫兹）	200 (50/60), 220 (60)			180~240 / 380~440 (50/60)
当前值	稳定状态	A	6.9（200V 时）	11.2（200V 时）	18.9（200V 时）	20.8（200V 时）
	最大值	A	7.3（200V 时）	11.8（200V 时）	20.6（200V 时）	48.5（200V 时）
冷却水暂压		兆帕	0.1~0.3			0.2~0.5
冷却水进出水压差		兆帕	>0.1			>0.2
冷却水流量		升/分钟	>5.0			>4.0
吹扫气体	一次压力	兆帕	0.1~0.5
	二次压力	兆帕	0.05~0.1
氮气吹扫	轴	可持续发展管理	五
	加斯巴拉	可持续发展管理	0~45			没有任何	0~45

*1 请在订购时注明。

模型			LR300	LR600	LR1200	LR1800	LR3601	LR3601-T(TT)	LR3601-R	LR3601-TR(TTR)
使用泵		数据恢复计划	LR60	LR90	LR90	LR180	LR421	LR421-T	LR421	LR421-T
		MPB	PRC-003A	PRC-006A	PRC-012A	PRC-018A	PRC-036C	PRC-036C(-T)	PRC-036D	PRC-036D(DT)
最大抽速	50赫兹	立方米/小时（升/分钟）	359(5,980)	653(10,900)	1,012(16,900)	1,701(28,350)	3,200 (53,333)
	60赫兹	立方米/小时（升/分钟）	365(6,080)	701(11,700)	1,051M(17,500)	1,784(29,700)	3,200 (53,333)
极限压力			0.67帕
最大入口压力（吸入压力）			气压
最大排气口压力（排出压力）			1Pa～大气压
进气口（CE规格）			VG80 (KF80)		VG100(KF100)	VG150(KF100)	VG150
排气口			KF40				KF50
MBP表面处理			○ *2	○ *2	○ *2	○ *2	×	时间：×时间：×	×	TR:×TTR:〇
大量的		公斤	275	370	第420章	第545章	660	720	660	720
电力*3	三相	交流电压（赫兹）	200 (50/60), 220 (60)				180~240 / 380~440 (50/60)
当前值	稳定状态	A	7.0（200V 时）	12.3（200V 时）	13.7（200V 时）	21.4（200V 时）	31.0（200V 时）20.5（400V 时）		35.4（200V 时）20.5（400V 时）
	最大值	A	9.6（200V 时）	19.0（200V 时）	24.2（200V 时）	39.8（200V 时）	58.4（200V 时）40.5（400V 时）		82.0（200V 时）40.5（400V 时）
冷却水暂压		兆帕	0.1~0.3				0.2~0.5
冷却水进出水压差		兆帕	>0.1		0.1~0.3		0.2~0.5
冷却水流量		升/分钟	>5.0				>4.0
吹扫气体	一次压力	兆帕	0.1~0.5
	二次压力	兆帕	0.05~0.1
氮气吹扫	轴	可持续发展管理	五
	加斯巴拉	可持续发展管理	0~45				无 *4	0~45	无 *4	0~45

*2 LR300、LR600、LR1200、LR1800 MBP 可选择有或无表面处理。*3 请在订购时注明。*4 我们还可以根据应用引用允许使用气体玫瑰花的规格。

配饰

■消音器

模型

材料

表面处理

大量的

连接法兰

LR300

LR600

LR1200

LR1800

LR3601

LR60

LR90

LR180

LR421

LR421-T

RS-01 +套件 A

不锈钢304

GBB处理

4.1公斤

KF40

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RS-01 +套件 B

KF40

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RS-02 +套件 A

8.3公斤

KF40

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RS-02 +套件 B

KF40

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RS-03 +套件 A

抛光板

12.5公斤

KF50

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RS-03 +套件 B

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