金山科研平台现货促销
ULVAC爱发科 多级式干式真空泵 LR90 配备氦气密闭电机
ULVAC爱发科 多级式干式真空泵 LR90 配备氦气密闭电机
通过在低温范围内均匀加热泵体,该泵不仅适用于 PVD 工艺,而且适用于对装载室和卸载室进行排气,其中缩短排气时间对于提高吞吐量尤为重要。金山科研平台现货促销特征
低温范围内均匀加热(LR系列)除了PVD工艺外,它特别适用于装载/卸载室的排气,其中缩短排气时间对于提高吞吐量非常重要。
配备氦气密闭电机,密封结构,安全性极高。
瞬时停电对策我们采取了1000毫秒以内的瞬时停电对策。
优异的耐腐蚀性主要部件采用特殊的表面处理,表面硬度高,耐腐蚀性优异。当腐蚀性气体排出时,减少泵内部的腐蚀。
通讯功能可以读取有关泵运行状态和警告/警报历史记录的数据。通过使用专用软件并与计算机通信,可以进行集中监控。
金山科研平台现货促销目的
薄膜沉积设备(溅射设备/蒸发设备等)
缩短装卸间排气时间
作为辅助排气泵(涡轮分子泵和机械增压泵的辅助排气)
金山科研平台现货促销规格
模型 | LR60 | LR90 | LR180 | LR421 | LR421-T |
最大抽速 | 50赫兹 | 立方米/小时(升/分钟) | 62 (1030) | 112 (1860) | 183 (3100) | 440 (7333) |
60赫兹 | 立方米/小时(升/分钟) | 80 (1333) | 126 (2100) | 237 (3950) | 440 (7333) |
极限压力 | 5.0帕 |
最大入口压力(吸入压力) | 气压 |
最大排气口压力(排出压力) | 1Pa~大气压 |
进气口(CE规格) | VG50(KF50) | VG80(KF50) | VG100 |
排气口 | KF40 | VG50 |
大量的 | 公斤 | 180 | 245 | 第335章 | 第415章 |
电力*1 | 三相 | 交流电压(赫兹) | 200 (50/60), 220 (60) | 180~240 / 380~440 (50/60) |
当前值 | 稳定状态 | A | 6.9(200V 时) | 11.2(200V 时) | 18.9(200V 时) | 20.8(200V 时) |
最大值 | A | 7.3(200V 时) | 11.8(200V 时) | 20.6(200V 时) | 48.5(200V 时) |
冷却水暂压 | 兆帕 | 0.1~0.3 | 0.2~0.5 |
冷却水进出水压差 | 兆帕 | >0.1 | >0.2 |
冷却水流量 | 升/分钟 | >5.0 | >4.0 |
吹扫气体 | 一次压力 | 兆帕 | 0.1~0.5 |
二次压力 | 兆帕 | 0.05~0.1 |
氮气吹扫 | 轴 | 可持续发展管理 | 五 |
加斯巴拉 | 可持续发展管理 | 0~45 | 没有任何 | 0~45 |
*1 请在订购时注明。
模型 | LR300 | LR600 | LR1200 | LR1800 | LR3601 | LR3601-T(TT) | LR3601-R | LR3601-TR(TTR) |
使用泵 | 数据恢复计划 | LR60 | LR90 | LR90 | LR180 | LR421 | LR421-T | LR421 | LR421-T |
MPB | PRC-003A | PRC-006A | PRC-012A | PRC-018A | PRC-036C | PRC-036C(-T) | PRC-036D | PRC-036D(DT) |
最大抽速 | 50赫兹 | 立方米/小时(升/分钟) | 359(5,980) | 653(10,900) | 1,012(16,900) | 1,701(28,350) | 3,200 (53,333) |
60赫兹 | 立方米/小时(升/分钟) | 365(6,080) | 701(11,700) | 1,051M(17,500) | 1,784(29,700) | 3,200 (53,333) |
极限压力 | 0.67帕 |
最大入口压力(吸入压力) | 气压 |
最大排气口压力(排出压力) | 1Pa~大气压 |
进气口(CE规格) | VG80 (KF80) | VG100(KF100) | VG150(KF100) | VG150 |
排气口 | KF40 | KF50 |
MBP表面处理 | ○ *2 | ○ *2 | ○ *2 | ○ *2 | × | 时间:×时间:× | × | TR:×TTR:〇 |
大量的 | 公斤 | 275 | 370 | 第420章 | 第545章 | 660 | 720 | 660 | 720 |
电力*3 | 三相 | 交流电压(赫兹) | 200 (50/60), 220 (60) | 180~240 / 380~440 (50/60) |
当前值 | 稳定状态 | A | 7.0(200V 时) | 12.3(200V 时) | 13.7(200V 时) | 21.4(200V 时) | 31.0(200V 时)20.5(400V 时) | 35.4(200V 时)20.5(400V 时) |
最大值 | A | 9.6(200V 时) | 19.0(200V 时) | 24.2(200V 时) | 39.8(200V 时) | 58.4(200V 时)40.5(400V 时) | 82.0(200V 时)40.5(400V 时) |
冷却水暂压 | 兆帕 | 0.1~0.3 | 0.2~0.5 |
冷却水进出水压差 | 兆帕 | >0.1 | 0.1~0.3 | 0.2~0.5 |
冷却水流量 | 升/分钟 | >5.0 | >4.0 |
吹扫气体 | 一次压力 | 兆帕 | 0.1~0.5 |
二次压力 | 兆帕 | 0.05~0.1 |
氮气吹扫 | 轴 | 可持续发展管理 | 五 |
加斯巴拉 | 可持续发展管理 | 0~45 | 无 *4 | 0~45 | 无 *4 | 0~45 |
*2 LR300、LR600、LR1200、LR1800 MBP 可选择有或无表面处理。*3 请在订购时注明。*4 我们还可以根据应用引用允许使用气体玫瑰花的规格。
配饰
■消音器
模型 | 材料 | 表面处理 | 大量的 | 连接法兰 | LR300 | LR600 | LR1200 | LR1800 | LR3601 | LR60 | LR90 | LR180 | LR421 | LR421-T |
RS-01 +套件 A | 不锈钢304 | GBB处理 | 4.1公斤 | KF40 | ○ | - | - | - | - | ○ | ○ | - | - | - |
RS-01 +套件 B | KF40 | - | ○ | ○ | - | - | - | - | - | - | - |
RS-02 +套件 A | 8.3公斤 | KF40 | ○ | - | - | - | - | - | - | ○ | - | - |
RS-02 +套件 B | KF40 | - | ○ | ○ | ○ | - | - | - | - | - | - |
RS-03 +套件 A | 抛光板 | 12.5公斤 | KF50 | - | - | - | - | - | - | - | - | ○ | ○ |
RS-03 +套件 B | - | - | - | - | ○ | - | - | - | - | - |
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