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ELIONIX 一件代发电子束边缘分析装置ERA-nanoR

2024-11-06

金山科研平台现货促销

ELIONIX 金山科研平台一件代发电子束边缘分析装置ERA-nanoR

	高分辨率系统	标准体系
解决	1.2nm (30kV) 5nm (1kV)	3.5纳米（35kV）
电子枪	ZrO/W热场发射型		预居中钨
加速电压	0.3至30kV		0.3至35kV
放大	20至60万次		10至40万次
探测器	4个二次电子探测器，1个4ch背散射电子探测器
图像观察	差信号不均匀性-增强二次电子图像、和信号合成-增强二次电子图像、正常二次电子图像、背散射电子图像
图像格式	BMP、JPG、TIFF、PNG
观察监视器	27寸液晶屏
自动功能	对比度、亮度、焦点、污点
样本量	请联系我们了解样品尺寸（样品示例：Φ150 x H30、L250 x W50 x H30mm、8 英寸 Φ 等）。
舞台驱动器	X、Y、Z、R、T
样品移动范围	X：0 至 50 毫米 Y：0 至 155 毫米
	Z：4至36毫米		Z：8至40毫米
	R：360度连续无尽
	温度：-7 至 +70°
排气系统	涡轮分子泵、油回转泵、离子泵		涡轮分子泵、油回转泵
Z方向分辨率	1纳米
测量点数	直线测量（X 和 Y 方向）：最多 32,767 点，3D 测量：最多 4,800 x 3,600 点
长度测量功能	X、Y、Z 方向两点之间的距离和倾斜角度
表面纹理分析功能	鸟瞰图、等高线图、峰数、晶粒尺寸、面积比、JIS标准粗糙度参数
边缘分析功能	切削刃分析、曲率半径分析、棱线分析、形状误差分析

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