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ELIONIX 三维粗糙度分析扫描电子显微镜“ERA-9200”

2024-11-06

金山科研平台现货促销

ELIONIX 金山科研平台三维粗糙度分析扫描电子显微镜“ERA-9200”

SEM观察系统>

电子枪	ZrO/W热场发射型
着陆电压	100V至30kV
二次电子探测器	顶部探测器 4 套上部探测器 2 套下部探测器 1 套
解决	0.4nm（着陆电压30kV）0.5nm（着陆电压15kV）0.7nm（着陆电压1kV）
放大	x60 至 3,000,000 次
样本量	Φ100mm、Φ36×H10mm、Φ26×H16mm
样品驱动器	X,Y,Z,R,T 5轴电机驱动

<三维测量系统>

垂直分辨率	1纳米
测量方向	X方向、Y方向
测量数据点数	高达432万点
数据记录方式	兼容Windows
分析	等高线、鸟瞰图、峰数、粒径面积比、表面积、JIS标准参数

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